我校擬對光電學院紫外臭氧清洗機一臺進行公開招標采購，詳細技術要求如下。歡迎有投標意向的廠家或商家，攜帶有關資質證明復印件到我校國資處設備科報名。
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項目 |
技術規格 |
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名稱 |
紫外臭氧清洗系統 |
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清洗原理 |
通過紫外線（185nm和254nm）和臭氧清洗基材表面，能夠簡單，經濟，快速獲得超潔凈表面。能去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。在傳統清洗后，再用紫外臭氧清洗幾分鐘就可獲得超潔凈的表面，且無任何損傷。 |
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定時器 |
15、30、60、120分鐘 |
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電壓 |
220VAC |
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燈管 |
8"X8"石英格柵燈管，帶反射罩低壓汞燈，有效清洗面積8"X8" |
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樣品高度 |
可調節樣品臺和燈管的距離，最大距離4” |
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樣品放置 |
清洗腔上蓋向上打開，露出樣品臺，可以自由放置 |
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安全 |
當清洗腔上蓋打開時，內部安全鎖自動關閉燈管 |
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氣體接口 |
兩個氣體接口 |
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保修 |
質保一年（不含燈管） |
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交貨時限 |
簽訂合同一周內交貨 |
報名截止日期：2013年4月16日下午4時
報名地點：西安工業大學未央校區行政樓511、501室
聯系電話：86173148,86173142
聯系人：朱老師，李老師
西安工業大學國資處
2013年4月9日
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