陜西省薄膜技術(shù)與光學檢測重點實驗室有三個主要研究方向：①薄膜與等離子體技術(shù)；②光學制造及檢測技術(shù)；③微光電器件制造及應用技術(shù)。主要研究內(nèi)容包括光學薄膜制造技術(shù)；脈沖真空等離子體鍍膜技術(shù)與設備；離子束濺射技術(shù)與設備；非球面加工、檢測技術(shù)與設備；薄膜參數(shù)精密測試技術(shù)與設備；常溫熱成像材料與器件的制造、檢測與應用技術(shù)；多功能傳感器集成制造技術(shù)；MEMS與MOEMS工藝技術(shù)及其應用等。
    根據(jù)“開放、流動、聯(lián)合、競爭”的運行機制，實驗室重視多學科、多專業(yè)的相互滲透，鼓勵相關(guān)學科的相互結(jié)合和集成。實驗室熱忱歡迎和邀請各有關(guān)領域的國內(nèi)外科研人員來實驗室進行合作研究。
1.開放基金申請對象、申請方法、基金的使用和管理

詳見附件1（陜西省薄膜技術(shù)與光學檢測重點實驗室開放研究基金實施細則）。
2.開放基金說明
    1)開放基金主要資助與本實驗室研究方向相關(guān)的課題，2009-2010年度資助具體方向和經(jīng)費額度參見本指南第4條。
    2)本年度每項目課題研究期限不超過二年，執(zhí)行期間為2010年1月-2011年12月。
    3) 申請人應定期將研究進展通報本實驗室，本實驗室將根據(jù)進展情況有權(quán)終止資助進展不好的研究課題。
    4) 凡經(jīng)本實驗室開放基金資助的課題，其研究成果由本實驗室及研究者所在單位共享。由開放基金資助課題發(fā)表的論文，應注明“本課題由陜西省薄膜技術(shù)與光學檢測重點實驗室開放基金資助”(The project was supported by Open Fund of Shaanxi Province Key Laboratory of Thin Films Technology and Optical Test，Xi’an Technological University)。

 3.開放基金申請程序
    1)申請人根據(jù)實驗室開放基金的主要資助方向(本指南第4條)填寫“陜西省薄膜技術(shù)與光學檢測重點實驗室開放基金課題申請書” （見附件2）或者“大型儀器設備開放申請表” （見附件3）或者“訪問學者申請表”（見附件4）一式三份。經(jīng)所在單位主管領導同意后，向本實驗室提出申請。本年度開放基金申請截止日期為2009年10月30日，逾期不予受理。
    2)實驗室組織有關(guān)專家對提交的申請書進行評審，由實驗室學術(shù)委員會確定資助項目和金額，2009年12月30日前書面通知獲得資助的申請人。
    3)申請書可從網(wǎng)上直接下載(見附件)，也可打電話、發(fā)電子郵件或?qū)懶潘魅　?SPAN lang="EN-US">
4.2009-2010年度開放基金資助范圍

本年度的項目計劃分為三類：實驗室研究方向相關(guān)的應用基礎研究項目、實驗室大型設備開放項目、訪問學者項目。

①應用基礎研究項目：

本類研究項目資助經(jīng)費額度視研究內(nèi)容確定，原則上不超過1萬元/項。

1）等離子體、離子束技術(shù)的應用研究方向

• 等離子體、離子束測試技術(shù)研究；

• 等離子體、離子束技術(shù)在光學加工中的應用；

• 等離子體、離子束技術(shù)在光學薄膜制造過程中的應用研究；

• 用于離子注入的高能量離子源技術(shù)研究；

2）類金剛石薄膜制造及應用技術(shù)研究方向

• DLC薄膜在金屬材料表面改性方面的應用；

• DLC薄膜微觀結(jié)構(gòu)分析研究；

• 探索 DLC薄膜光學常數(shù)分布變化規(guī)律。

3）高精密光學零件加工及檢測技術(shù)研究方向

• 微光學元件制造及檢測技術(shù)；

• 磁流變拋光液的研制、分離與回收技術(shù)研究；

• 光學元件損耗機理研究；

• 光學元件檢測方法理論研究。

和以上方向相關(guān)課題也可申報。

②實驗室大型設備開放項目：

實驗室資助大型設備開放項目的單項經(jīng)費不超過3千元，開放設備可參見實驗室網(wǎng)頁相關(guān)介紹。

1）高精度光學薄膜檢測

• 變角度多光譜橢圓偏振儀測試；

• 付立葉變換紅外光譜測試；

• 紫外可見分光光度計測試。

2）精密光學元件與系統(tǒng)檢測

• 光學元件面形檢測（干涉儀，接觸式輪廓儀）；

• 光學元件表面粗糙度檢測；

• 光學傳遞函數(shù)測試。

3）光學元件制造

• 光學薄膜物理氣相沉積設備；

• 光學元件制造設備（非球面銑磨，精磨，拋光）

4）薄膜制造

• 光學薄膜制造；

• DLC薄膜制造；

• 磁控濺射技術(shù)制備薄膜；

• 電弧技術(shù)（磁過濾電弧、脈沖電弧）制備金屬薄膜；

③訪問學者項目

實驗室接受國內(nèi)外訪問學者。

本年度接受人數(shù)：1人；

總經(jīng)費數(shù)：不超過4萬元。

5.聯(lián)系方式：

陜西省薄膜技術(shù)與光學檢測重點實驗室，西安工業(yè)大學校內(nèi)教5樓辦公室

郵寄地址：西安市金花北路4號45信箱

郵編：710032

聯(lián)系電話：029-83208210（兼?zhèn)髡妫?SPAN lang="EN-US">

E_mail: hanglingxia@xatu.edu.cn ; caichanglong@xatu.edu.cn

附件1：陜西省薄膜技術(shù)與光學檢測重點實驗室開放研究基金實施細則

附件2：陜西省薄膜技術(shù)與光學檢測重點實驗室開放基金課題申請書

附件3：大型儀器設備開放申請表

附件4：訪問學者申請表